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申请/专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司

摘要：本发明提供了一种面内位移检测结构及加速度计，其中，所述面内位移检测结构包括基底、设置于所述基底上的检测组件以及用于电连接所述检测组件的电极线，所述检测组件包括相互呈中心对称的两个第一检测组件；每个所述第一检测组件包括依次间隔设置的第一动齿、第一定齿、第二定齿以及第二动齿；所述第二定齿呈阶梯状；所述第二动齿呈与所述第二定齿相同的阶梯状；两个所述第一检测组件中的两个所述第二动齿相邻排布；所述电极线分别电连接至所述检测组件中的所有第一电极锚点和所有第二电极锚点。本发明的面内位移检测结构可以缩小定齿和动齿之间排布所占用的空间，以使其适用于加速度计的小型化设计。

主权项：1.一种面内位移检测结构，其包括基底、设置于所述基底上的检测组件以及用于电连接所述检测组件的电极线，所述检测组件包括相互呈中心对称的两个第一检测组件；其特征在于，每个所述第一检测组件均包括沿第一方向延伸且沿第二方向依次间隔排布的第一动齿、第一定齿、第二定齿以及第二动齿；所述第一定齿和所述第二定齿固定于所述基底，所述第一动齿和所述第二动齿分别通过仅在所述第二方向产生弹性形变的弹性悬梁悬置于所述基底上方；其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述第一动齿呈平板状；所述第一定齿包括呈平板状且与所述第一动齿正对设置的第一定齿本体以及由所述第一定齿本体向远离所述第一动齿的方向凸出延伸形成的第一电极锚点；所述第二定齿呈阶梯状，其包括呈平板状且与所述第一定齿本体正对间隔设置的第二定齿本体、由所述第二定齿本体靠近所述第一电极锚点的一端凸出延伸形成的第二电极锚点以及由所述第二电极锚点远离第二定齿本体的一侧凸出延伸形成的第二定齿延伸体，所述第二电极锚点向远离所述第一动齿的方向延伸，所述第二定齿延伸体沿所述第一方向向远离所述第二定齿本体的方向延伸，所述第二定齿延伸体呈平板状；所述第二电极锚点与所述第一电极锚点交错设置，且所述第二电极锚点沿所述第一方向向所述第一电极锚点的正投影部分落入所述第一电极锚点的范围内，沿所述第二方向，所述第二定齿延伸体与所述第一定齿本体之间的距离大于所述第二定齿本体与所述第一定齿本体之间的距离；所述第二动齿呈与所述第二定齿相同的阶梯状，沿所述第一方向，所述第二动齿的正投影与所述第二定齿的正投影部分重叠；两个所述第一检测组件中的两个所述第二动齿相邻排布；所述电极线分别电连接至所述检测组件中的所有第一电极锚点和所有第二电极锚点。

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