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申请/专利权人：广东凯迪微智能装备有限公司

摘要：本发明公开了晶圆干燥技术领域的一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，包括清洗箱及排废箱，安装架设有横移组件，清洗箱内部设有喷杆组件，清洗箱设有排风管、第二排液管及第一排液管，清洗箱底部设有快排管及快排阀，洗箱内部设有花篮，安装架设有摆臂机构，安装架的另外一端设有起泡器组件、加热器及排风管组件，排风管设置于第二排液管的上端，在液位降低过程中，喷杆喷射低表面张力的液体和气体，在晶圆表面形成表面张力梯度，激活马兰戈尼效应，从而有效地去除污染物，干燥方法包括以下步骤：步骤S1，晶圆装载，步骤S2，预清洗，步骤S3，晶圆清洗，步骤S4，晶圆干燥，步骤S5，晶圆卸载，该步骤能更进一步地提高晶圆清洗的洁净度。

主权项：1.一种晶圆干燥装置，包括安装架，其特征在于，所述安装架的一端设有清洗箱及排废箱，所述清洗箱开设有开口朝上的清洗槽，清洗箱的上端设有与之非固定连接的盖板，且安装架设有用于驱动所述盖板做横移运动的横移组件，所述清洗箱的内部设有喷杆组件，所述清洗箱的一侧设有注液管及液位计，清洗箱接近注液管的一侧设有一组排风管及第二排液管，清洗箱的另外一侧设有第一排液管，一组所述排风管呈左右间隔分布设置，一组所述第二排液管呈左右间隔分布设置，所述排风管设于第二排液管的上端，清洗箱的底部设有快排管及快排阀，所述快排阀套设于快排管的外侧并用于打开或关闭快排管，所述快排管的另外一端与排废箱相互连接，所述清洗箱内部设有至少一个与之非固定连接的花篮，所述安装架接近清洗箱的一侧设有用于带动花篮运动的摆臂机构，所述摆臂机构包括摆臂、与所述摆臂驱动连接的驱动组件以及与所述摆臂相互连接的花篮支撑组件，所述花篮支撑组件包括支撑板以及固定设于所述支撑板左右两端的限位板；所述安装架的另外一端设有起泡器组件、加热器以及排风管组件，所述起泡器组件包括安装箱、设于安装箱顶部的出风管、设于安装箱侧边的进风管、设于安装箱前侧的排液管、设于安装箱底部的第二排废管、设于所述安装箱内部的鼓泡器以及三个固定设于安装箱上的液位感应器，三个所述液位感应器由上至下依次分布设置，所述排风管组件包括清洗槽排风管、机架排风管以及鼓泡器加热排风管，所述清洗槽排风管远离机架排风管的一端设有第一手动调风阀，所述机架排风管的顶部设有第二手动调风阀。

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