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申请/专利权人：北京云摩科技股份有限公司;中国石油集团工程材料研究院有限公司
摘要：本发明提供了一种等离子体气敏装置，属于气体传感器技术领域。该等离子体气敏装置包括：测试腔，适用于容纳交替式通入的空气和目标气体；等离子体发生器，适用于产生等离子体，等离子体进入测试腔中并与空气中的氧气碰撞，引起氧气的解离和反应，以得到活性氧自由基和或臭氧；以及气敏芯片，设置于测试腔的底部，气敏芯片包括：气敏电极；气敏膜，覆盖于气敏电极外表面并与气敏电极电性连接，气敏膜表面吸附有活性氧自由基和或臭氧，目标气体与活性氧自由基和或臭氧发生氧化还原反应，引起气敏膜的电导率变化，产生气敏响应。
主权项：1.一种等离子体气敏装置，其特征在于，包括：测试腔，适用于容纳交替式通入的空气和目标气体；等离子体发生器，适用于产生等离子体，所述等离子体进入所述测试腔中并与所述空气中的氧气碰撞，引起氧气的解离和反应，以得到活性氧自由基和或臭氧；以及气敏芯片，设置于所述测试腔的底部，所述气敏芯片包括：气敏电极；以及气敏膜，覆盖于所述气敏电极外表面并与所述气敏电极电性连接，所述气敏膜表面吸附有所述活性氧自由基和或臭氧，所述目标气体与所述活性氧自由基和或臭氧发生氧化还原反应，引起所述气敏膜的电导率变化，产生气敏响应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京云摩科技股份有限公司 中国石油集团工程材料研究院有限公司 等离子体气敏装置
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