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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：该发明提供一种单晶炉用晶体旋转提拉装置，包括安装在单晶炉上端的基座、旋转机构、以及设置在旋转机构上的用于提拉籽晶的绕绳机构，所述旋转机构安装在基座上，并能够在基座上圆周旋转，所述旋转机构内设置有晶棒重量检测装置，晶棒重量检测装置位于绕绳机构的上方，与绕绳机构相齐平，所述绕绳机构上卷绕有用于提拉籽晶的籽晶绳，籽晶绳固定籽晶的一端向上绕过晶棒重量检测装置后向下穿过旋转机构、基座并自由下垂在单晶炉中，绕绳机构通过籽晶绳提拉籽晶在单晶炉中进行拉制晶棒过程中，晶棒的重量通过籽晶绳作用于晶棒重量检测装置上，通过晶棒重量检测装置检测籽晶绳的压力，以获取拉制过程中的晶棒重量，提高了对晶棒计重的精准度。
主权项：1.一种单晶炉用晶体旋转提拉装置，包括安装在单晶炉上端的基座、旋转机构、以及设置在旋转机构上的用于提拉籽晶的绕绳机构，所述旋转机构安装在基座上，并能够在基座上圆周旋转，其特征在于：所述旋转机构内设置有晶棒重量检测装置，所述晶棒重量检测装置位于绕绳机构的上方，与绕绳机构相齐平，所述绕绳机构上卷绕有用于提拉籽晶的籽晶绳，籽晶绳固定籽晶的一端向上绕过晶棒重量检测装置后向下穿过旋转机构、基座并自由下垂在单晶炉中，所述绕绳机构通过籽晶绳提拉籽晶在单晶炉中进行拉制晶棒过程中，籽晶绳压在晶棒重量检测装置上，通过晶棒重量检测装置检测籽晶绳的压力，以获取拉制过程中的晶棒重量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 单晶炉用晶体旋转提拉装置及单晶炉
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