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透射式小角度散射装置 

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申请/专利权人:株式会社理学

摘要:本发明的透射式小角度散射装置配备有包括旋转臂11的测角器10。旋转臂11在以铅垂方向的配置状态作为原点,围绕从该原点沿水平方向延伸的θ轴自由转动。并且,将X射线照射单元20搭载于旋转臂1的下侧端部,并且,将二维X射线检测器搭载于旋转臂11的上侧端部。

主权项:1.一种透射式小角度散射装置,其特征在于,配备有:X射线照射单元;二维X射线检测器;以及配置作为检查对象的试样的试样保持部,对配置于所述试样保持部的试样从下方照射从所述X射线照射单元射出的汇聚X射线,并且,所述二维X射线检测器在试样的上方位置检测在透过该试样的汇聚X射线的周围产生的散射X射线,并且,配备有使所述试样保持部绕χ轴摆动的χ轴摆动机构,利用该χ轴摆动机构改变入射X射线相对于配置在所述试样保持部的试样的光轴角度。

全文数据:

权利要求:

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