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申请/专利权人：浙江老鹰半导体技术有限公司
摘要：本发明涉及一种多结VCSEL器件、VCSEL芯片、激光雷达系统及其光源，多结VCSEL器件，包括：衬底；依次设于衬底上的底部反射镜结构和顶部反射镜结构；底部反射镜结构和顶部反射镜结构限定用于产生驻波的谐振腔结构；谐振腔结构包括层叠设置的多个有源区和至少一个光电限制层，光电限制层位于对应的有源区远离衬底的一侧，且位于驻波的波谷处，光电限制层用于限定多结VCSEL器件的发光区域；至少一个光场调控层，临近光电限制层设置，光场调控层包括两个调控子层，同一光场调控层中的两个调控子层分别位于对应的一个光电限制层相背的两侧，以将谐振腔结构内的光场划分为至少两段。
主权项：1.一种多结VCSEL器件，其特征在于，包括：衬底；依次设于所述衬底上的底部反射镜结构和顶部反射镜结构；所述底部反射镜结构和所述顶部反射镜结构限定用于产生驻波的谐振腔结构；所述谐振腔结构包括层叠设置的多个有源区和至少一个光电限制层，所述光电限制层位于对应的所述有源区远离所述衬底的一侧，且位于所述驻波的波谷处，所述光电限制层用于限定所述多结VCSEL器件的发光区域；至少一个光场调控层，临近所述光电限制层设置，所述光场调控层包括两个调控子层，同一所述光场调控层中的两个所述调控子层分别位于对应的一个所述光电限制层相背的两侧，以将谐振腔结构内的光场划分为至少两段。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江老鹰半导体技术有限公司 多结VCSEL器件、VCSEL芯片、激光雷达系统及其光源
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