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申请/专利权人：江苏汉印机电科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅外延厚度的检测装置及方法，涉及碳化硅外延厚度检测技术领域，旨在解决传统垂直测量方式不便于实现相邻点测量以确保碳化硅外延厚度检测的准确性以及判断碳化硅外延厚度检测位置是否光滑平整的技术问题，包括内部可拆卸安装有调节套件的检测箱体，调节套件包括对称设置的升降机构，升降机构内均可拆卸安装有安装板，安装板相向一面的两端均构造连接有翻转机构，且安装板的一侧可拆卸安装有电机二，翻转机构包括上端面一侧构造有矩形台的矩形板，矩形台内开设有滑槽，电机二通过电机轴连接有可旋转安装于滑槽内的滚珠丝杆。本发明具有方便进行对比判断外延厚度检测的准确性以及外延表面是否平整的优点。
主权项：1.一种碳化硅外延厚度的检测装置，其特征在于，包括内部可拆卸安装有调节套件2的检测箱体1；所述调节套件2包括对称设置的升降机构3，所述升降机构3内均可拆卸安装有安装板4，所述安装板4相向一面的两端均构造连接有翻转机构5，且安装板4的一侧可拆卸安装有电机二9；所述翻转机构5包括上端面一侧构造有矩形台502的矩形板501，所述矩形台502内开设有滑槽503，所述电机二9通过电机轴连接有可旋转安装于滑槽503内的滚珠丝杆504，所述滚珠丝杆504的外缘面上活动设置有从动组件10，所述矩形板501的上端面一侧构造设置有齿条505；所述从动组件10包括内部可旋转伸缩活动安装有连接轴1004的活动块1001，所述连接轴1004的一端固定连接有齿轮1005，所述齿轮1005动态啮合于齿条505，且连接轴1004的另一端固定连接有承托框6，所述活动块1001内活动设置有用于推动齿轮1005与齿条505进行动态啮合和分离的推拉机构；所述矩形台502的两侧一端均可拆卸安装有立板506，所述立板506的顶端构造有导向板507，所述导向板507的一端开设有用于引导推拉机构移动的导向槽508，所述导向槽508的内壁一侧形成有用于迫使推拉机构进行移动的斜面部509。
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权利要求：
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