龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：星科金朋私人有限公司
摘要：本公开涉及提供用于处理各种尺寸或形状的晶圆和面板的FOUP或盒支撑结构的系统和方法。一种前开口统一舱具有：壳体；以及多个水平支撑部件，设置在壳体内并且适于容纳多个半导体晶圆或面板。多个半导体晶圆或面板具有不同的尺寸或形状，诸如圆形和矩形。多个水平支撑部件中的第一水平支撑部件具有翼状物以支撑多个不同尺寸或形状的半导体晶圆或面板。多个水平支撑部件具有第一侧面水平支撑部件、第二侧面水平支撑部件、以及设置在第一侧面水平支撑部件和第二侧面水平支撑部件之间的中心水平支撑部件。多个水平支撑部件可插入到壳体中。多个水平支撑部件中的一个或多个具有用于激光识别的开口。
主权项：1.一种半导体制造设备，包括：壳体；以及多个水平支撑部件，被设置在所述壳体内以形成适于容纳多个不同尺寸或形状的半导体晶圆或面板的槽支撑件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星科金朋私人有限公司 提供用于处理各种尺寸或形状的晶圆和面板的FOUP或盒支撑结构的系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号