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申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种FOUP盒锁紧机构及FOUP定位板。FOUP盒锁紧机构设置在FOUP定位板上；FOUP盒锁紧机构包括为位置检测装置、开关盒气缸、连杆组件和夹爪；所述位置检测装置的触发端位于FOUP定位板的上侧，所述位置检测装置与开关盒气缸连接；所述开关盒气缸通过连杆组件与夹爪连接，所述开关盒气缸通过连杆组件带动夹爪的翻转；所述FOUP定位板上设置有夹爪孔，所述夹爪位于FOUP定位板的下侧，所述夹爪通过翻转在穿过夹爪孔移动至于FOUP定位板上侧或者下侧。此种锁紧装置采用单气缸形式及连杆结构完成锁紧，相对于现有的多气缸锁紧装置，减小成本，节约锁紧时间，提高效率。
主权项：1.一种FOUP盒锁紧机构，其特征在于，所述FOUP盒锁紧机构设置在FOUP定位板上；所述FOUP盒锁紧机构包括为位置检测装置、开关盒气缸、连杆组件和夹爪；所述位置检测装置的触发端位于FOUP定位板的上侧，所述位置检测装置与开关盒气缸连接；所述开关盒气缸通过连杆组件与夹爪连接，所述开关盒气缸通过连杆组件带动夹爪的翻转；所述FOUP定位板上设置有夹爪孔，所述夹爪位于FOUP定位板的下侧，所述夹爪通过翻转在穿过夹爪孔移动至于FOUP定位板上侧或者下侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司 一种FOUP盒锁紧机构及FOUP定位板
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