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用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择 

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申请/专利权人:ASML荷兰有限公司

摘要:公开了检测器和检测系统。根据某些实施例,一种检测器包括衬底,该衬底包括多个感测元件,该多个感测元件包括第一感测元件402和第二感测元件403,其中至少第一感测元件形成为三角形形状。检测器可以包括切换区域4009A,该切换区域配置为连接第一感测元件和第二感测元件。还可以提供多个分区,该多个分区包括将第一多个感测元件连接到第一输出的第一分区和将第二多个感测元件连接到第二输出的第二分区。该多个分区可以以六边形形状来设置。

主权项:1.一种检测器,包括:衬底,包括多个感测元件,所述多个感测元件包括第一感测元件和第二感测元件;以及切换区域,被配置为电连接所述第一感测元件和所述第二感测元件,其中至少所述第一感测元件被形成为三角形形状。

全文数据:

权利要求:

百度查询: ASML荷兰有限公司 用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择

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