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申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构，包括传动轴和轴套；传动轴整体呈T字型，传动轴包括主体部、圆形盘部和轴头部；传动轴的主体部呈圆柱体形，轴头部呈圆筒形且内部中空，圆形盘部的一侧面的中心位置与主体部的一端固定连接，圆形盘部的另一侧面与轴头部的一端固定连接；轴套本体部呈圆环形；轴套本体部用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接；沿着传动轴的轴头部的径向方向，轴套本体部套设于传动轴的轴头部的外侧，并且轴套本体部与传动轴的轴头部之间设置有圆环形的轴承，使得轴套本体部能够绕传动轴的轴头部转动。所述邦头驱动结构能够驱动转塔式固晶装置的目标邦头沿着不同的方向做线性运动。
主权项：1.用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构，其特征在于，该邦头驱动结构包括传动轴10、轴套20以及轴承24；传动轴10整体呈T字型，传动轴10包括主体部11、圆形盘部12和轴头部13；传动轴10的主体部11呈圆柱体形，轴头部13呈圆筒形且内部中空，圆形盘部12的一侧面的中心位置与主体部11的一端固定连接，圆形盘部12的另一侧面与轴头部13的一端固定连接；轴套20包括轴套本体部21；轴套本体部21呈圆环形；轴套本体部21用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接；沿着传动轴10的轴头部13的径向方向，轴套本体部21套设于传动轴10的轴头部13的外侧，并且轴套本体部21与传动轴10的轴头部13之间设置有圆环形的轴承24，使得轴套本体部21能够绕传动轴10的轴头部13转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海赢朔电子科技股份有限公司 用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构
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