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申请/专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司
摘要：本发明提供了一种可精密旋转的超光滑圆薄片测量装置及超光滑圆薄片测量方法。本发明的可精密旋转的超光滑圆薄片测量装置包括底座、夹持支撑机构以及旋转定位机构。本发明的可精密旋转的超光滑圆薄片测量装置可对待测的超光滑圆薄片在竖直方向进行夹持，并使超光滑圆薄片可原位翻转并固定，从而使得超光滑圆薄片的两面待测区域均无遮挡，且可在无需拆卸的情况下即可实现原位水平翻转两面测量，能够兼具高定位精度、可绕中轴线精准旋转、同时适用于单或双面测量、便捷高效、无损、微应力、支撑稳固、具备多参数测量能力以及适中的成本等优点。
主权项：1.一种可精密旋转的超光滑圆薄片测量装置，其特征在于，用于对超光滑圆薄片进行面形测量时将所述超光滑圆薄片夹持，包括：底座；夹持支撑机构，包括：夹持部，为竖直方向设置的空心环结构，用于夹持住待测的超光滑圆薄片且使其两面待测量区域均无遮挡，和转动部，为水平布置的圆盘形结构，所述转动部绕其圆心可水平旋转地设置于所述底座上；以及旋转定位机构，设置于所述底座和所述转动部上，使得所述转动部在转动前后可通过所述旋转定位机构固定与所述底座的相对位置，其中，将垂直于所述转动部的圆面且穿过圆心的线记做中轴线，所述中轴线穿过所述夹持部夹持的所述超光滑圆薄片的圆心，所述转动部水平方向旋转后即带动所述夹持部绕所述中轴线旋转，使得所述夹持部夹持的所述超光滑圆薄片在无需拆卸的情况下即可实现原位水平翻转两面测量。
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百度查询： 苏州慧利仪器有限责任公司 一种可精密旋转的超光滑圆薄片测量装置及超光滑圆薄片测量方法
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