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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：在一些示例中，一种多站处理工具包含多个处理室，每一处理室位于多站处理工具的一站处；以及RF功率路径部件，其与多站处理工具的每一站相关，RF功率路径部件的几何位置以及方向是使得当通电时，创建相对于多站处理工具中心的对称RF功率路径。
主权项：1.一种多站处理工具，其包含：多个处理室，每一处理室位于所述多站处理工具的站处；以及RF功率路径部件，其与所述多站处理工具的每一站相关，所述RF功率路径部件被定位并定向成使得当通电时，创建相对于所述多站处理工具的对称轴的对称RF功率路径。
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