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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本发明描述了一种晶片卡盘组件，其包含具有一或多个等离子体电极的平台以及射频RF组件，射频RF组件包含电耦合至一或多个等离子体电极的至少一个RF导体。该至少一个RF导体包含杆，其杆尖耦合至该一或多个等离子体电极，以及其杆柄机械性地耦合至具有中空内部的热扼流器。该杆包含第一导电材料且具有第一宽度和第一长度。热扼流器包含第二导电材料且具有第二宽度和第二长度；且第二宽度等于或大于第一宽度。
主权项：1.一种晶片卡盘组件，其包含：平台，其具有一或多个等离子体电极；以及射频RF组件，其包含电耦合至所述一或多个等离子体电极的至少一个RF导体，所述至少一个RF导体包含：杆，其杆尖耦合至所述一或多个等离子体电极且其杆柄机械性地耦合至具有中空内部的热扼流器，其中：所述杆包含第一导电材料且具有第一宽度和第一长度；所述热扼流器包含第二导电材料且具有第二宽度和第二长度；且所述第二宽度等于或大于所述第一宽度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 具有用于RF接线的热绝缘的晶片卡盘组件
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