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基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法 

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申请/专利权人:北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院

摘要:本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法,涉及微型机器人技术领域,爬行机器人包括运动足和本体,本体的两侧分别设置有多个运动足,多个运动足的延伸方向相同,各运动足均包括悬臂梁和第一材料,悬臂梁的一端与本体连接,另一端为自由端,悬臂梁上堆叠有第一材料,悬臂梁和第一材料之间设置有加热组件,第一材料的热膨胀系数大于悬臂梁,常态下,悬臂梁的自由端悬空,当加热组件通电产热时,运动足的自由端向下翘曲并与支撑面接触。本发明还提供了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人的制作方法,本发明提供的方案能够提高热驱动微型机器人的驱动效率以及结构拓展能力。

主权项:1.一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人,其特征在于:包括:运动足和本体,所述本体的两侧分别设置有多个所述运动足,多个所述运动足的延伸方向相同,各所述运动足均包括悬臂梁和第一材料,所述悬臂梁的一端与所述本体连接,另一端为自由端,所述悬臂梁上堆叠有所述第一材料,所述悬臂梁和所述第一材料之间设置有加热组件,所述第一材料的热膨胀系数大于所述悬臂梁,常态下,所述悬臂梁的自由端悬空,当所述加热组件通电产热时,所述运动足的自由端向下翘曲并与支撑面接触。

全文数据:

权利要求:

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