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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请涉及微机电技术领域，公开了一种MEMS谐振器TCF调整方法，包括：获取MEMS谐振器的设计频率且确定MEMS谐振器的目标模态后，计算得到MEMS谐振器的1阶、2阶TCF系数；提升MEMS谐振器的堆叠结构层中的器件层的掺杂浓度，且测算MEMS谐振器的2阶TCF系数是否为第一目标值，若否，则重复提升器件层的掺杂浓度，直至2阶TCF系数为第一目标值；调整MEMS谐振器的实时频率至设计频率；基于2阶TCF系数为第一目标值，MEMS谐振器的实时频率为设计频率，测算MEMS谐振器的1阶TCF系数，调整1阶TCF系数为第二目标值；获得MEMS谐振器的目标TCF曲线，从而提高MEMS谐振器的频率稳定性。
主权项：1.一种MEMS谐振器TCF调整方法，其特征在于，包括：获取MEMS谐振器的设计频率且确定所述MEMS谐振器的目标模态后，计算得到所述MEMS谐振器的1阶TCF系数和2阶TCF系数；提升所述MEMS谐振器的堆叠结构层中的器件层的掺杂浓度，且测算所述MEMS谐振器的2阶TCF系数是否为第一目标值，若否，则重复提升所述器件层的掺杂浓度，直至所述2阶TCF系数为所述第一目标值；调整所述MEMS谐振器的实时频率至所述设计频率；基于所述2阶TCF系数为所述第一目标值，所述MEMS谐振器的实时频率为所述设计频率，测算所述MEMS谐振器的1阶TCF系数，且调整所述1阶TCF系数为第二目标值；获得所述MEMS谐振器的目标TCF曲线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器TCF调整方法
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