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申请/专利权人：应美盛股份有限公司
摘要：一种微机电系统MEMS麦克风包括用于接收声信号的腔。声信号引起振膜相对于一个或多个其他表面移动，进而得到表示接收到的声信号的电信号。光传感器被包括在MEMS麦克风的套件内，使得光传感器的输出表示与声信号一起接收的光信号。使用光传感器的输出以限制对声输出信号的光干涉的方式来修改表示接收到的声信号的电信号。
主权项：1.一种微机电系统MEMS麦克风套件，包括：MEMS层，所述MEMS层包括能响应于接收到的声信号而移动的MEMS振膜；光传感器，所述光传感器处于所述MEMS麦克风套件的暴露表面上的位置处，并且被配置为基于在所述位置处接收的光来输出光信号；以及处理电路，所述处理电路联接到所述MEMS层和所述光传感器，其中，所述处理电路被配置为响应于接收到的所述声信号而输出与所述MEMS振膜的移动对应的麦克风信号，其中，基于所述光信号来修改所述麦克风信号，并且其中，所述麦克风信号的修改包括去除所述麦克风信号的对应于所述光信号的一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应美盛股份有限公司 在MEMS麦克风中识别光干涉
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