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申请/专利权人：江苏大学
摘要：本发明属于光电技术领域，特指一种体结构MEMS红外光源及其制造方法。该光源从下至上依次为衬底和隔热层、介质层、发热电极层、红外发射层；以及与发热电极层电连接并位于红外发射层两侧的两条发热电极焊盘。隔热层从衬底的上表面向下镶嵌在衬底的中间区域，隔热层的上表面与衬底的上表面处于同一平面，红外发射层相对于隔热层两边各缩小一定的距离。本发明通过低热导率隔热层的引入，不仅能达到现有“悬膜”结构MEMS红外光源一样的热传导控制功能，同时使发热电极层、红外发射层等功能层和衬底融为一体，形成了体结构，大大提升了MEMS红外光源在制造和使用过程中的热稳定性和结构强度，从根源上避免了“悬膜”破裂的隐患。
主权项：1.一种体结构MEMS红外光源，从下至上依次为衬底和隔热层、介质层、发热电极层、红外发射层；以及与发热电极层电连接并位于红外发射层两侧的两条发热电极焊盘，其特征在于：隔热层从衬底的上表面向下镶嵌在衬底的中间区域，隔热层的上表面与衬底的上表面处于同一平面，隔热层的热导率小于等于0.1Wm·K，介质层覆盖在衬底和隔热层的上表面，在介质层上面依次设置有发热电极层、红外发射层，其中红外发射层相对于隔热层两边各缩小一定的距离Lc，0.5μm≤Lc≤20μm，发热电极焊盘与红外发射层相切并位于红外发射层两侧，且发热电极焊盘主体位于隔热层外侧区域的发热电极层上并与发热电极层形成电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏大学 一种体结构MEMS红外光源及其制造方法
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