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申请/专利权人：中山大学
摘要：本发明涉及光谱仪的技术领域，提出集成的基于可调谐耗散型微盘的中红外光谱仪，包括：微盘谐振腔、U型波导、输入波导、输出波导、微型加热电极和接触电极；所述微型加热电极和所述接触电极设置在微盘谐振腔上，且所述微型加热电极与所述接触电极连接；所述微盘谐振腔位于U型波导的两直臂之间，且所述微盘谐振腔与U型波导不直接接触，所述U型波导的两直臂分别与微盘谐振腔进行耦合，形成耗散型微盘结构；所述U型波导的一直臂经由其对应的耦合位置与所述输入波导连接，所述U型波导的另一直臂端经由其对应的耦合位置与所述输出波导连接。
主权项：1.集成的基于可调谐耗散型微盘的中红外光谱仪，其特征在于，包括：微盘谐振腔、U型波导、输入波导、输出波导、微型加热电极和接触电极；所述微型加热电极和所述接触电极设置在微盘谐振腔上，且所述微型加热电极与所述接触电极连接；所述微盘谐振腔位于U型波导的两直臂之间，且所述微盘谐振腔与U型波导不直接接触，所述U型波导的两直臂分别与微盘谐振腔进行耦合，形成耗散型微盘结构；所述U型波导的一直臂经由其对应的耦合位置与所述输入波导连接，所述U型波导的另一直臂端经由其对应的耦合位置与所述输出波导连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 集成的基于可调谐耗散型微盘的中红外光谱仪及检测方法
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