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一种OLED器件TFE结构的制备方法 

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申请/专利权人:福建华佳彩有限公司

摘要:本发明提供一种OLED器件TFE结构的制备方法,涉及OLED器件技术领域。所述方法采用3~5层无机有机的叠层结构,通过在非显示区域涂布有机隔绝保护膜,无机薄膜则可以整面性沉积在玻璃基板上,通过后期的干蚀和蚀刻剥离工艺将覆盖在外围线路和绑定区域的有机保护隔绝层蚀刻剥离,得到的OLED器件是既有薄膜封装区域也有露出的绑定区域,完全省去了TFE遮罩的制备步骤,并进一步节省了TFE遮罩定期维护及清洗的成本。

主权项:1.一种OLED器件TFE结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、在玻璃基板上涂布一层柔性衬底,然后在柔性衬底上制备OLED器件;步骤二、在步骤一的基础上,在玻璃基板上的绑定区和非薄膜覆盖区域打印第一保护层,所述第一保护层经过曝光和固化形成稳定的固态薄膜;步骤三、在步骤二的基础上整面性成膜形成第一无机隔离层,然后再在封装区域打印有机缓冲层,其次再整面性沉积第二无机隔离层,其中第一无机隔离层和第二无机隔离层均覆盖在第一保护层上;步骤四、在步骤三的基础上打印第二保护层,所述第二保护层覆盖薄膜封装区域,第二保护层经过曝光和固化形成保护膜;步骤五、对整个器件表面的未被第二保护层保护的无机隔离层进行干刻,然后再采用剥离液将固化后的第二保护层以及第一保护层全部剥离掉,彻底地露出绑定区域和非薄膜封装区域,最后剥离柔性衬底,将柔性器件与刚性基板分离,得到所需要的带有TFE结构的柔性OLED器件。

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