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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司

摘要：本实用新型公开一种高效上料装置，包括：左立柱、右立柱、连接于左立柱与右立柱之间的横杆和设置于横杆一端外侧的晶圆卡塞盒，横杆一端的前侧安装有一主皮带轮，横杆另一端的前侧安装有一从皮带轮，从皮带轮与主皮带轮之间通过一皮带传动连接，一安装于皮带上的支撑板可随皮带在水平方向上移动，设置于一顶升组件上的晶圆卡塞盒内设置有若干片沿竖直方向间隔排列的晶圆，支撑板的下表面安装有一陶瓷片。本实用新型便于陶瓷片逐一对晶圆片进行吸附拾取与搬运且不会损伤晶圆，还实现晶圆卡塞盒在竖直方向上的逐级移动，便于陶瓷片对晶圆片的逐片拾取作业，既有效避免对晶圆片以及后续加工产生不良干扰，又提高对晶圆进行拾取、运送的效率。

主权项：1.一种高效上料装置，包括：左立柱（21）、右立柱（22）、连接于左立柱（21）与右立柱（22）之间的横杆（23）和设置于横杆（23）一端外侧的晶圆卡塞盒（10），其特征在于：所述横杆（23）一端的后侧安装有一第一电机（17），该第一电机（17）的输出轴上并位于横杆（23）的前侧安装有一主皮带轮（152），所述横杆（23）另一端的前侧可转动地安装有一从皮带轮（151），所述从皮带轮（151）与主皮带轮（152）之间通过一皮带（16）传动连接，一安装于所述皮带（16）上的支撑板（18）可随皮带（16）在水平方向上移动，设置于一顶升组件上的所述晶圆卡塞盒（10）内设置有若干片沿竖直方向间隔排列的晶圆（100）；所述支撑板（18）的下表面安装有一陶瓷片（19），所述陶瓷片（19）与支撑板（18）连接一端的上表面开设有一气槽（191），向晶圆卡塞盒（10）方向延伸的所述陶瓷片（19）另一端的上表面或者下表面上开设有若干个用于与晶圆（100）配合的吸附孔（192），每个所述吸附孔（192）与气槽（191）之间均通过开设于陶瓷片（19）内的气道（193）连通，所述支撑板（18）上开设有一与所述气槽（191）对应的气孔（183），下端与陶瓷片（19）上的气槽（191）连通的所述气孔（183）的上端与真空发生器连通；所述顶升组件包括：上基板（1）、下基板（2）、至少2根连接上基板（1）与下基板（2）的导柱（3）、可转动地安装于上基板（1）与下基板（2）之间的丝杆（4）和安装于下基板（2）下表面的第二电机（5），所述第二电机（5）输出轴的上端与丝杆（4）的下端连接，所述丝杆（4）上并位于上基板（1）与下基板（2）之间通过螺纹套装有一活动块（6），可沿丝杆（4）上下移动的所述活动块（6）的外侧连接有一下活动板（71），所述导柱（3）可滑动地穿过该下活动板（71），所述上基板（1）的上方设置有一上活动板（72），该上活动板（72）与下活动板（71）之间通过至少2个连接板（8）连接，所述上活动板（72）的上表面安装有一用于放置晶圆卡塞盒（10）的载座（9）。

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