首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种多个Wafer轻量化上料装置 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:深圳市华高自动化设备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种多个Wafer轻量化上料装置,设置便于定位组装的十字平台底座;包括:移动平台,滑动连接于所述十字平台底座的上侧,且移动平台的外表面安装有线路链,并且移动平台的上表面安装有支撑座;主动轮,转动连接于所述固定板的外表面左侧,且主动轮的外表面啮合连接有输送带,并且输送带的内表面另一侧啮合安装有从动轮。该多个Wafer轻量化上料装置,设置有十字平台底座,控制上方移动平台组装的固定板形成支撑调节,且组装的主动轮和输送带以及从动轮,控制支撑轴调节晶圆支撑板角度调节,从而配合晶圆支撑板上方组装的不同的晶圆环,控制不同晶圆本体制作使用,提高使用便捷性以及稳定性。

主权项:1.一种多个Wafer轻量化上料装置,设置便于定位组装的十字平台底座1;其特征在于,包括:移动平台2,滑动连接于所述十字平台底座1的上侧,且移动平台2的外表面安装有线路链3,并且移动平台2的上表面安装有支撑座4,同时支撑座4的上表面安装有固定板5;主动轮6,转动连接于所述固定板5的外表面左侧,且主动轮6的外表面啮合连接有输送带7,并且输送带7的内表面另一侧啮合安装有从动轮8,同时从动轮8的内表面安装有支撑轴9,并且支撑轴9的外表面下侧嵌套连接有旋转轴承10,并将旋转轴承10嵌套在固定板5的内表面,同时支撑轴9的上表面嵌套组装有晶圆支撑板11;松紧座12,安装于所述固定板5的上表面,且松紧座12的内表面嵌套连接有移动座13,并且移动座13的内表面旋转连接有张紧轮14,同时张紧轮14的外表面贴合连接有输送带7,并且固定板5的上表面内置安装有支撑杆15,同时支撑杆15的上表面安装有支撑万向轴承16,并在支撑万向轴承16的上表面贴合连接有晶圆支撑板11。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市华高自动化设备有限公司 一种多个Wafer轻量化上料装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。