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申请/专利权人：南京尹特利微电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了刻蚀机真空管道同步测量夹具，涉及测量装置技术领域。本实用新型包括底座、测试台、内衬嘴和弧形夹板，所述底座的上方设有测试台，在测试台的上端分别设有移动座和固定座，移动座和固定座的相对面中部均安装有内衬嘴，两个所述内衬嘴的上下两侧均设有供中空管道固定的弧形夹板，其中一个内衬嘴的内部安装有注气嘴，其中另一个注气嘴的内部安装有气压表，四个所述弧形夹板的外部均固定安装有传动块，在每个传动块的侧部均固定安装有滑块，每个滑块均与滑轨滑动连接，四个滑轨分别固定在移动座和固定座的相对面上，所述固定座和移动座的侧壁上下两端均通过支座固定安装有电动推杆，每个电动推杆的伸缩端均与滑块固定连接，所述测试台的一侧安装有控制面板，本实用新型通过。
主权项：1.刻蚀机真空管道同步测量夹具，其特征在于，包括底座1、测试台2、内衬嘴5和弧形夹板6，所述底座1的上方设有测试台2，在测试台2的上端分别设有移动座3和固定座4，移动座3和固定座4的相对面中部均安装有内衬嘴5，两个所述内衬嘴5的上下两侧均设有供中空管道固定的弧形夹板6，其中一个内衬嘴5的内部安装有注气嘴7，其中另一个注气嘴7的内部安装有气压表8，四个所述弧形夹板6的外部均固定安装有传动块9，在每个传动块9的侧部均固定安装有滑块10，每个滑块10均与滑轨11滑动连接，四个滑轨11分别固定在移动座3和固定座4的相对面上，所述固定座4和移动座3的侧壁上下两端均通过支座12固定安装有电动推杆13，每个电动推杆13的伸缩端均与滑块10固定连接，所述测试台2的一侧安装有控制面板14。
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权利要求：
百度查询： 南京尹特利微电子科技有限公司 刻蚀机真空管道同步测量夹具
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