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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了一种TOPCon太阳能电池及其制备方法，属于TOPCon电池领域，采用LPCVD工艺在N型硅片背面制备隧穿氧化层和多晶硅层，并在多晶硅层上沉积一层氧化层；利用激光轰击对背面金属区域表面的氧化层进行开槽处理，裸漏出拟重掺区域；进行背面磷扩散处理，利用表面氧化层阻挡，在背面金属区和非金属区形成高低浓度掺杂区域；利用RCA对氧化层进行清洗。本发明的有益效果是：在掺杂多晶硅层上增加一层氧化层，并激光开槽和磷扩散，在背面金属区和非金属区形成高低浓度掺杂区域，有效改善了背面金属接触区域接触，降低非金属区域表面复合，从而提升FF和Uoc，最终提升电池片效率。
主权项：1.一种TOPCon太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，采用LPCVD工艺在N型硅片背面制备隧穿氧化层和多晶硅层，并在多晶硅层上沉积一层氧化层；步骤二，利用激光轰击对背面金属区域表面的氧化层进行开槽处理，裸漏出拟重掺区域；步骤三，进行背面磷扩散处理，利用表面氧化层阻挡，在背面金属区和非金属区形成高低浓度掺杂区域；步骤四，利用RCA对氧化层进行清洗。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种TOPCon太阳能电池及其制备方法
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