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抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 

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申请/专利权人:东京应化工业株式会社

摘要:一种抗蚀剂组合物,含有:具有以通式a10‑1表示的结构单元a10的高分子化合物A1、鎓盐类产酸剂B1、交联剂C、具有5个以下的苯基的多核酚低分子化合物Z,其固体成分浓度为15质量%以上,式中,R为氢原子、碳数为1~5的烷基或碳数为1~5的卤代烷基。Yax1为单键或2价连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。

主权项:1.一种抗蚀剂组合物,其特征在于,含有:具有以下述通式a10-1表示的结构单元a10的高分子化合物A1;鎓盐类产酸剂B1;从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂C;具有5个以下的苯基的多核酚低分子化合物Z,所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为15质量%以上,[化1] 式中,R为氢原子、碳数为1~5的烷基或碳数为1~5的卤代烷基,Yax1为单键或2价连接基团,Wax1为可具有取代基的芳香族烃基,nax1为1以上的整数。

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