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申请/专利权人：乐金显示光电科技(中国)有限公司
申请日：2023-11-14
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275886U
主分类号：C23C16/509
分类号：C23C16/509;C23C16/455
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种化学气相沉积装置，包括支架、第一电极和进料组件，其中第一电极包括主体部和连接部，主体部用于连接射频电源，连接部用于输送反应气体，连接部远离主体部的一端设有第一法兰；腔体内沿竖直方向间隔设有第一电极和第二电极，第二电极用于承托待镀工件；进料组件包括导料管和绝缘隔热垫，导料管固定在支架上，导料管设置有第二法兰，第一法兰与第二法兰可拆卸连接，且第一法兰与第二法兰之间设置有绝缘隔热垫。本实用新型的化学气相沉积装置通过在第一法兰与第二法兰间设置绝缘隔热垫，避免第一电机的射频电流及温度传导至导料管上而造成反应气体在导料管内提前反应的现象，提升反应气体的利用率及保障待镀工件的镀膜质量。
主权项：1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括：支架；第一电极，所述第一电极包括主体部和连接部，所述主体部上凸出设置有所述连接部，所述主体部用于连接射频电源，所述连接部用于输送反应气体，所述连接部远离所述主体部的一端设置有第一法兰；腔体，所述腔体内沿竖直方向间隔设置有所述第一电极和第二电极，所述第二电极用于接地，且所述第二电极用于承托待镀工件；进料组件，所述进料组件包括导料管和绝缘隔热垫，所述导料管固定在所述支架上，所述导料管设置有第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰可拆卸连接，且所述第一法兰与所述第二法兰之间设置有所述绝缘隔热垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐金显示光电科技(中国)有限公司 化学气相沉积装置
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