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申请/专利权人：重庆欣晖材料技术有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种用于化学气相沉积的组件、装备及承载装置，该组件可以包括：盘状的衬底；外周部分，该外周部分设置在衬底的径向外侧，用于与支承组件的支承单元接触，使得组件支承在支承单元上；以及连接部分，该连接部分将衬底的侧表面与外周部分连接，使得衬底被承载。由于衬底是通过侧表面的连接而实现被承载的，因此衬底的正面和背面这两个主表面都能够全面地形成沉积层。
主权项：1.一种用于化学气相沉积的组件，其特征在于，所述组件包括：盘状的衬底；外周部分，所述外周部分设置在所述衬底的径向外侧，所述外周部分用于与支承所述组件的支承单元接触，使得所述组件支承在所述支承单元上；以及连接部分，所述连接部分将所述衬底的侧表面与所述外周部分连接，使得所述衬底被承载。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆欣晖材料技术有限公司 一种用于化学气相沉积的组件、装备及承载装置
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