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一种化学气相沉积炉废料回收装置 

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申请/专利权人:西安西炉特种电炉有限公司

摘要:本实用新型涉及废料回收技术领域,具体涉及一种化学气相沉积炉废料回收装置,包括化学气相沉积炉本体和回收组件,回收组件包括收集通道、斜板、收集桶、防尘保护罩、两个合页和固定单元,收集通道与化学气相沉积炉本体连通,并位于化学气相沉积炉本体的下方,防尘保护罩通过两个合页与收集通道的一端连通,收集桶安放在收集通道的一端,收集通道收集化学气相沉积炉本体的废料,通过斜板滑落至收集桶内,同时防尘保护罩盖住收集桶上方,通过固定单元固定后,避免松动,防止灰尘飘散,收集结束后,通过合页的配合,打开防尘保护罩,取走收集桶,由此可避免收集废料时灰尘四处飘散,有效保护周围空气环境。

主权项:1.一种化学气相沉积炉废料回收装置,包括化学气相沉积炉本体,其特征在于,还包括回收组件;所述回收组件包括收集通道、斜板、收集桶、防尘保护罩、两个合页和固定单元,所述收集通道与所述化学气相沉积炉本体连通,并位于所述化学气相沉积炉本体的下方,所述斜板与所述收集通道固定连接,并位于所述收集通道的内部,所述防尘保护罩通过两个所述合页与所述收集通道的一端连通,所述收集桶安放在收集通道的一端,所述防尘保护罩盖合于所述收集桶的上方,所述防尘保护罩通过所述固定单元与所述收集桶连接。

全文数据:

权利要求:

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