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申请/专利权人：湖南九山半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于化学气相沉积炉尾气处理领域，具体是涉及到一种化学气相沉积炉尾气处理装置，包括处理罐、出气管道和冷却机构；所述处理罐的侧壁下方设置有进气管道，所述处理罐的底部设置有排污结构；所述出气管道为L型管，L型管的竖直段设置在处理罐内，且竖直段的上端开口设置朝向所述处理罐上方布置，L型管的水平段从所述处理罐的侧壁下方穿出所述处理罐；所述冷却机构作用于所述处理罐内壁和竖直段外壁之间。本实用新型通过设置L型管作为出气管道，使尾气首先经过去除大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒之后再通过出气管道排出处理罐，以此实现尾气中大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒的分离。
主权项：1.一种化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，包括处理罐3、出气管道2和冷却机构；所述处理罐3的侧壁下方设置有进气管道1，所述处理罐3的底部设置有排污结构；所述出气管道2为L型管，L型管的竖直段21设置在处理罐3内，且竖直段21的上端开口设置朝向所述处理罐3上方布置，L型管的水平段22从所述处理罐3的侧壁下方穿出所述处理罐3；所述冷却机构作用于所述处理罐3内壁和竖直段21外壁之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南九山半导体科技有限公司 一种化学气相沉积炉尾气处理装置
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