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申请/专利权人：乐金显示光电科技(中国)有限公司
申请日：2023-11-14
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275883U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种化学气相沉积设备包括镀膜室和分隔机构，其中镀膜室内具有沉积腔，镀膜室设置有与沉积腔相通的第一出口；分隔机构包括第一驱动件和密封组件，第一驱动件与密封组件传动连接，密封组件包括第一密封板和第二驱动件，第二驱动件设置在第一驱动件上，第二驱动件与第一密封板传动连接，以使第一密封板封堵第一出口，第一密封板设置有多个柔性材质的驱动套，驱动套内设置有多个容纳腔，且相邻两个容纳腔通过连通口连通，第二驱动件上设置有连接块，连接块位于其中一个容纳腔内，连接块沿第二方向的截面尺寸大于连通口的口径，第二驱动件作用下连接块能通过连通口。本实用新型的化学气相沉积设备结构简单，镀膜真空环境得以保证。
主权项：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：镀膜室，所述镀膜室内具有沉积腔，所述镀膜室设置有与所述沉积腔相通的第一出口；分隔机构，所述分隔机构包括第一驱动件和密封组件，所述第一驱动件与所述密封组件传动连接，以使所述密封组件沿第一方向移动与所述第一出口正对或间隔，所述密封组件包括第一密封板和多个沿第二方向间隔设置的第二驱动件，所有的所述第二驱动件均设置在所述第一驱动件的驱动端，所述第二驱动件与所述第一密封板传动连接，以使所述第一密封板沿第三方向移动并封堵所述第一出口，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向呈夹角设置，其中，所述第一密封板上设置有多个柔性材质的驱动套，所述驱动套内沿所述第三方向排布有多个容纳腔，且相邻两个所述容纳腔通过连通口连通，所述第二驱动件的驱动端设置有连接块，所述连接块位于其中一个所述容纳腔内，所述连接块沿所述第二方向的截面尺寸大于所述连通口的口径，所述第二驱动件作用下所述连接块能通过所述连通口移动至相邻的所述容纳腔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐金显示光电科技(中国)有限公司 化学气相沉积设备
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