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申请/专利权人：双良硅材料(包头)有限公司
申请日：2022-09-13
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275955U
主分类号：C30B15/10
分类号：C30B15/10;C30B29/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型提供了一种石英坩埚。石英坩埚的锅体包括内层和外层，并在内层设置预设高度的气泡空乏层，外层设置气泡复合层，并使气泡空乏层的上部厚度大于气泡空乏层的下部厚度，通过上述公开的石英坩埚，能够有效减缓石英坩埚内部硅液涡流，能够使硅液上部温度大于硅液下部的温度，进而形成的热对流会使硅液底部的氧含量减少，而硅液上部的氧能够快速挥发，进而有效避免硅液的氧跟随对流进入硅棒，且还能有效减少因硅熔体对石英坩埚的冲刷而引入的氧杂质，因此，通过本申请的石英坩埚，能够有效降低单晶硅棒氧含量，有效提升单晶硅棒品质。
主权项：1.一种石英坩埚，其特征在于，包括：锅体；所述锅体包括内层和外层；所述内层设有预设高度的气泡空乏层，外层设有气泡复合层；所述气泡空乏层的上部厚度大于所述气泡空乏层的下部厚度，以使所述气泡空乏层的截面为倒三角形结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 双良硅材料(包头)有限公司 一种石英坩埚
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