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申请/专利权人：青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日：2023-11-14
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282038U
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本申请提供一种晶圆检测装置，涉及晶圆检测设备技术领域。该晶圆检测装置包括光源和罩体，罩体包括圆弧面部和配合部，圆弧面部盖设于光源，配合部连接于圆弧面部，以经过圆弧面部曲率圆心的基准面截面罩体，圆弧面部截面的弧端至弧顶连线为L，两个圆弧面部截面的弧端的连线为M，L与M的夹角α满足，30°≤α≤45°，配合部的周壁面为向外凸出的弧面，配合部的截面包括连接于圆弧面部截面的弧端的弧边，弧边两端连线为P，P与M的夹角为β满足，α＜β＜90°。当夹角α满足30°≤α≤45°时，当晶圆被按压发生形变至极限程度时，晶圆的环体可以抵靠于圆弧面部，使得晶圆无法继续发生形变，降低了晶圆被损坏的风险。
主权项：1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：光源4；罩体1，包括圆弧面部11和配合部12，所述圆弧面部11盖设于所述光源4，所述配合部12连接于所述圆弧面部11，以经过所述圆弧面部11曲率圆心的基准面截面所述罩体1，所述圆弧面部11截面的弧端至弧顶连线为L，两个所述圆弧面部11截面的弧端的连线为M，L与M的夹角α满足，30°≤α≤45°，所述配合部12的周壁面为向外凸出的弧面，所述配合部12的截面包括连接于所述圆弧面部11截面的弧端的弧边，所述弧边两端连线为P，P与M的夹角为β满足，α＜β＜90°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛旭芯互联科技研发有限公司 东旭科技集团有限公司 晶圆检测装置
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