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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
申请日：2023-11-15
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282074U
主分类号：H01L21/68
分类号：H01L21/68;H01L21/66
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型公开了芯片定位对准装置及芯片测试设备。芯片定位对准装置包括上料机构、定位机构、对准机构、搬运机构以及识别机构。上料机构设置有用于放置叠置的多张芯片的支撑平台。定位机构包括限位件和第一驱动机构，限位件沿周向对芯片进行限位，第一驱动机构驱动限位件，以使限位件沿芯片的周向运动。对准机构包括旋转台，单片的芯片放置于旋转台，且旋转台能够带动芯片绕芯片的中心轴旋转。搬运机构将上料机构中叠置的多张芯片中的一片搬运至对准机构。识别机构用于对芯片上的Mark点进行识别，识别机构与对准机构电连接，并且旋转台可根据识别机构检测到的数据进行旋转。本实用新型的芯片定位对准装置能够提高测试效率。
主权项：1.芯片定位对准装置，其特征在于，包括：上料机构，设置有用于放置叠置的多张芯片的支撑平台；定位机构，所述定位机构包括限位件和第一驱动机构，所述限位件沿周向对所述芯片进行限位，所述第一驱动机构驱动所述限位件，以使所述限位件沿所述芯片的周向向靠近所述芯片的方向运动或远离所述芯片的方向运动；对准机构，包括旋转台，单片的所述芯片放置于所述旋转台，且所述旋转台能够带动所述芯片绕所述芯片的中心轴旋转；搬运机构，所述搬运机构将上料机构中叠置的所述多张芯片中的一片搬运至所述对准机构；识别机构，设置于所述上料机构和所述对准机构的上方，用于对所述芯片上的Mark点进行识别，所述识别机构与所述对准机构电连接，并且所述旋转台可根据所述识别机构检测到的数据进行旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 芯片定位对准装置及芯片测试设备
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