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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种方法包括：使用设计布局的特性和图案化过程的特性来模拟图像或图像的特性；确定所述图像或图像的特性与所述设计布局或设计布局的特性之间的偏差；基于所述偏差使从经图案化的衬底获得的量测图像与所述设计布局对准，其中所述经图案化的衬底包括使用图案化过程由所述设计布局产生的图案；和根据与所述设计布局对准的所述量测图像确定经图案化的衬底的参数。
主权项：1.一种对准方法，包括：通过硬件计算机，将设计布局和使用图案化过程由所述设计布局在基板上产生的图案的量测图像对齐，所述对齐基于所述设计布局或所述设计布局的一个或多个特性与使用所述设计布局的特性和所述图案化过程的特性通过模拟产生的图像或所述图像的一个或多个特性之间的差异；和从与所述设计布局对齐的所述量测图像确定所述图案的至少一部分的偏移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 量测图像与设计之间的模拟辅助的对准
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