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申请/专利权人：浙江大学
申请日：2020-04-26
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN111443312B
主分类号：G01R33/032
分类号：G01R33/032;G01R33/00;G01D5/353;B33Y80/00;B33Y10/00;B29C64/135
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开
摘要：本发明公开了一种利用双光子飞秒激光直写技术3D打印的高灵敏度磁场传感器及其制作方法，包含入射单模光纤、双Y分支微结构和出射单模光纤；双Y分支微结构直接打印在入射单模光纤一端面和出射单模光纤一端面上，双Y分支微结构包括参考臂和测量臂，测量臂内包含有一段空心微腔体和微流通道用于填充磁流体材料。测量臂中导模的有效折射率与磁流体折射率密切相关，导致通过参考臂和测量臂上的传播光在公共端干涉后产生较大的相位差，干涉后的光谱由于参考臂和测量臂有效折射率不同而产生周期性的变化，当外界磁场变化时，干涉后光谱的谷产生漂移，通过测量该漂移可以实现对磁场的测量。该传感器具有体积小、灵敏度高、耐腐蚀等明显优势。
主权项：1.一种利用双光子飞秒激光直写技术3D打印的高灵敏度磁场传感器，其特征在于，包含入射单模光纤2、双Y分支微结构3和出射单模光纤4；所述的双Y分支微结构3的入射端和出射端分别与入射单模光纤2和出射单模光纤4的一端相连，所述的入射单模光纤2和出射单模光纤4的另一端分别连接宽谱光源1和光谱分析仪5；所述的双Y分支微结构3包括平行且等长的参考臂6和测量臂7，参考臂6和测量臂7位于同一侧的两端连通形成入射Y分支微结构，参考臂6和测量臂7位于另一侧的两端连通形成出射Y分支微结构，所述的入射Y分支微结构的入射端与入射单模光纤2的出射端由3D打印直接打印连接；所述的出射Y分支微结构的出射端与出射单模光纤4的入射端由3D打印直接打印连接；所述的测量臂7内部设有空心微腔体8，所述的空心微腔体8内充满磁流体，空心微腔体8的两端分别通过第一微流通道9和第二微流通道10与外部接通，第一微流通道9和第二微流通道10的端口处由紫外胶密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种利用双光子飞秒激光直写技术3D打印的高灵敏度磁场传感器及其制作方法
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