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申请/专利权人：未来儿股份有限公司
申请日：2018-04-25
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN112074944B
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2021.03.16#实质审查的生效;2020.12.11#公开
摘要：本发明提供基板收纳容器，其具备：容器主体2，具备筒状的壁部，所述壁部的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部而另一端部封闭，由壁部的内表面形成能够收纳多张基板的、与容器主体开口部连通的基板收纳空间27；盖体，相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部；以及通气路P，能够连通基板收纳空间27和容器主体2的外部空间，通气路P形成于嵌入成型于容器主体2的通气路形成部件245。
主权项：1.一种基板收纳容器，其特征在于，具备：容器主体，具备筒状壁部，所述壁部的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部而另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成能够收纳多张基板的基板收纳空间，所述基板收纳空间与所述容器主体开口部连通；盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；以及通气路，能够连通所述基板收纳空间和所述容器主体的外部空间，所述通气路形成于嵌入成型于所述容器主体的通气路形成部件，所述通气路形成部件由多个部件组合构成，所述通气路形成部件具备：第一部件部，嵌入成型于所述容器主体，形成气体流入所述通气路形成部件的通气路的部分；以及第二部件部，嵌入成型于所述容器主体，形成流入所述通气路形成部件的通气路的气体在所述通气路中碰撞而改变气体流动的方向的部分，所述基板收纳容器具备气体喷出喷嘴部，所述气体喷出喷嘴部贯穿形成于所述第二部件部的通孔，固定在所述通气路形成部件上，附加部件能够可装拆地安装到所述通气路形成部件，所述附加部件由供气用过滤部构成，以所述气体喷出喷嘴部和所述第一部件部夹着所述第二部件部，所述气体喷出喷嘴部固定在所述通气路形成部件的所述第一部件部。
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