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申请/专利权人：株式会社斯库林集团

摘要：比较简单地实现能够对基板连续地进行批量处理和单片处理的基板处理系统。根据本发明，通过利用中继装置将个别的批量处理装置与单片处理装置连结，对基板连续地进行批量处理和单片处理。这样构成的话，能够可靠地借用在个别的批量处理式装置和单片处理式装置中培养的技术，能够比较简单地实现可以对基板连续地进行批量处理和单片处理的基板处理系统。

主权项：1.一种基板处理系统，其连续地进行一并处理多张基板的批量处理和一张一张地处理基板的单片处理，其特征在于，所述基板处理系统具有：批量处理装置，其进行批量处理；至少一个单片处理装置，其对批量处理完的基板进行单片处理；以及至少一个中继装置，其确定了搬入位置和搬出位置这两个位置，其中，所述搬入位置用于从所述批量处理装置接受批量处理完的基板，所述搬出位置用于将在所述搬入位置接受的基板交付给所述单片处理装置，所述批量处理装置具有：第一载体载置搁板，其载置载体，该载体在铅垂方向上隔开规定间隔地收纳水平姿势的多张基板；移载块，其与所述第一载体载置搁板邻接；批量处理块，其与所述移载块邻接，所述移载块具有：基板处置机构，其从载置于所述第一载体载置搁板的载体，一并取出多张基板；以及第一姿势转换机构，其将从所述载体取出的多张基板从水平姿势一并转换为铅垂姿势，所述批量处理块具有：至少一个批量处理槽，其对铅垂姿势的多张基板一并进行浸渍处理；以及一并搬送机构，其在所述移载块、所述批量处理槽以及所述中继装置的所述搬入位置之间一并搬送铅垂姿势的多张基板，所述单片处理装置具有：第二载体载置搁板，其载置所述载体；分度块，其与所述第二载体载置搁板邻接；单片处理块，其与所述分度块邻接，所述单片处理块具有：多个单片处理腔室，其对水平姿势的基板一张一张地进行干燥处理；以及单片搬送机构，其从所述中继装置的所述搬出位置一张一张地接收批量处理完的水平姿势的基板，搬送至所述单片处理腔室，所述分度块具有：分度机器人，其将单片处理完的基板收纳到载置于所述第二载体载置搁板的所述载体，所述中继装置具有：第二姿势转换机构，其将从所述批量处理装置接受到的多张基板从铅垂姿势转换为水平姿势，以及中继搬送机构，其沿着在所述搬入位置与所述搬出位置之间设置的基板搬送路来搬送基板。

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