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申请/专利权人：扬州大学
申请日：2022-05-16
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114740561B
主分类号：G02B5/20
分类号：G02B5/20;G02B5/22
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.07.29#实质审查的生效;2022.07.12#公开
摘要：本发明公开了一种纳米圆柱阵列长波通滤波片，包括基底，基底上刻有纳米圆孔阵列，基底上还设有纳米圆柱阵列；纳米圆孔阵列中，各纳米圆孔贯穿基底，并成矩形整列排列；纳米圆柱阵列中，各纳米圆柱底部插入到基底内，并成矩形整列排列；在垂直纳米圆孔的平面上，纳米圆孔阵列和纳米圆柱阵列在两个方向上分别交错布置。本发明的纳米圆柱阵列长波通滤波片结构中，纳米圆柱阵列主要的工作方式是吸收紫外线而透过红外线，周期性纳米圆柱阵列对紫外波段的吸收性良好，对红外波段的透过性极佳，实现了在短波段的平均透过率低于1.5％，在长波段的平均透过率达到95％以上。
主权项：1.一种纳米圆柱阵列长波通滤波片，其特征在于，包括基底，所述基底上刻有纳米圆孔阵列，所述基底上还设有纳米圆柱阵列；所述纳米圆孔阵列中，各纳米圆孔贯穿基底，并成矩形整列排列；所述纳米圆柱阵列中，各纳米圆柱底部插入到基底内，并成矩形整列排列；在垂直所述纳米圆孔的平面上，所述纳米圆孔阵列和所述纳米圆柱阵列在两个方向上分别交错布置；所述基底材料为SiO2，所述纳米圆柱的材料为GaAs；所述纳米圆孔和所述纳米圆柱的半径r一致，取值范围为25nm-40nm；两纳米圆柱的半间距l取值范围为40nm-60nm，纳米圆柱的高度H取值范围为600-1100nm；所述基底的厚度h1为150nm-200nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州大学 一种纳米圆柱阵列长波通滤波片
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