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光电感应惯性传感器及其制造方法 

申请/专利权人:深圳瑞纳电子技术发展有限公司

申请日:2024-04-03

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118293912A

主分类号:G01C21/16

分类号:G01C21/16

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明提供了一种光电感应惯性传感器及其制造方法,包括固定基体和惯性体,固定基体内具有圆盘形封闭空腔,在固定基体的空腔外壁上设置有若干个光电感应单元,固定基体对应空腔中心轴的位置有与空腔连通的光导;惯性体为圆盘状,设置于所述圆盘形空腔内,与空腔具有间隙,并且与空腔的中心轴重合,能够在空腔内绕中心轴非接触旋转,在惯性体内设置有一端与光导装置连通,沿半径方向设置的光波导管,所述光波导管用于将光导装置的入射光传输到光电感应单元。

主权项:1.一种光电感应惯性传感器,其特征在于,包括固定基体和惯性体,固定基体内具有圆盘形封闭空腔,在固定基体的空腔外壁上设置有若干个光电感应单元,固定基体对应空腔中心轴的位置有与空腔连通的光导装置;惯性体为圆盘状,设置于所述圆盘形空腔内,与空腔具有间隙,并且与空腔的中心轴重合,能够在空腔内绕中心轴旋转,在惯性体内设置有一端与光导装置连通,沿半径方向设置的光波导管,所述光波导管用于将光导装置的入射光传输到光电感应单元。

全文数据:

权利要求:

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