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申请/专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日：2023-01-05
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118289701A
主分类号：B81C1/00
分类号：B81C1/00;B81B7/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请涉及一种MEMS器件的制造方法。MEMS器件的制造方法包括提供盖板和MEMS单元；盖板具有缺口区域及位于缺口区域至少一侧的遮挡区域，MEMS单元具有像元区域，像元区域包括有效像元区域及位于有效像元区域至少一侧的参考像元区域；将盖板与MEMS单元键合，形成具有盖板的MEMS组件；其中，缺口区域与有效像元区域相对应，遮挡区域与参考像元区域相对应。上述制造方法，在MEMS单元上键合具有缺口区域及遮挡区域的盖板，缺口区域与有效像元区域相对应，遮挡区域与参考像元区域相对应，参考像元区域的上方被遮挡区域遮挡，有利于提高参考像元区域的参考像元获取参考数据的准确性，提高MEMS器件测量的准确性。
主权项：1.一种MEMS器件的制造方法，其特征在于，包括：提供盖板和MEMS单元；其中，所述盖板具有缺口区域及位于所述缺口区域至少一侧的遮挡区域，所述MEMS单元具有像元区域，所述像元区域包括有效像元区域及位于所述有效像元区域至少一侧的参考像元区域；将所述盖板与所述MEMS单元键合，形成具有盖板的MEMS组件；其中，所述缺口区域与所述有效像元区域相对应，所述遮挡区域与所述参考像元区域相对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州海康微影传感科技有限公司 一种MEMS器件的制造方法
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