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申请/专利权人：南通大学
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118300593A
主分类号：H03K17/94
分类号：H03K17/94;H03K17/78;H03K17/14;H03K19/00;H03K17/51
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种近零功率的微机械光开关。包括：驱动结构；悬臂结构；支撑结构和底电极结构。本专利申请的近零功率微机械光开关改变悬臂的高低热膨胀系数材料的排列位置，使悬臂的驱动的方式发生改变，平衡了驱动结构热膨胀对悬臂驱动的影响。左端闭合的方式，也让悬臂与驱动结构的连接点到开关左端闭合点之间形成力臂，提高了悬臂产生机械位移的利用率，降低了所需的阈值功率。所述驱动结构采用对称堆叠方式，平衡了由材料热膨胀导致的顶电极的应力弯曲，提升了顶电极的平整度，提高光开光闭合的准确性。实现具有高探测率和高响应率的近零功率微机械光开关。对于无线传感网络的发展，具有重要的应用前景。
主权项：1.一种近零功率微机械光开关，其特征在于，包括驱动结构1、悬臂结构、底部电极结构3和支撑结构4，所述驱动结构1与所述底部电极结构3之间形成空腔；所述驱动结构1由自上而下依次设置的顶部金属阵列5、第一低热膨胀系数材料层6、金属层7、第二低热膨胀系数材料层8和顶电极9构成，所述顶部金属阵列5和第一低热膨胀系数材料层6构成所述驱动结构1的第一部分，所述金属层7、第二低热膨胀系数材料层8和顶电极9构成所述驱动结构1的第二部分；所述第一低热膨胀系数材料层6与所述第二低热膨胀系数材料层8的材料与厚度均相同；所述第一低热膨胀系数材料层6和所述第二低热膨胀系数材料层8的热膨胀系数低于所述金属层7；所述支撑结构4设置于所述底部电极结构3的一端，用于支撑所述悬臂结构，所述悬臂结构包括对称设置的折形悬臂2；所述折形悬臂2由所述第二部分沿Y轴方向侧面的第一预设部位延伸形成且与所述支撑结构4固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通大学 一种近零功率微机械光开关
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