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申请/专利权人：浙江瞻芯电子科技有限公司
申请日：2024-05-10
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118272791A
主分类号：C23C16/458
分类号：C23C16/458
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开
摘要：本申请提供了提高淀积膜厚均匀性的石英舟装置及其制造方法。该石英舟装置包括晶圆安装仓和支脚。晶圆安装仓上设置有晶圆支架，晶圆支架用于使多个晶圆沿晶圆安装仓的轴向并列设置于晶圆安装仓中。支脚设置在晶圆安装仓的底部，在高度方向上，晶圆的圆心与支脚的最低点之间的距离为L1，晶圆的半径为R，且满足，28mm≤L1‑R≤32mm。该石英舟装置制造方法包括：提供能够容纳晶圆的石英舟装置；在石英舟装置的用于接触炉桨的底部设置垫高支脚；在高度方向上，晶圆的圆心与垫高支脚的最低点之间的距离为L1，晶圆的半径为R，控制垫高支脚的高度以满足：28mm≤L1‑R≤32mm。
主权项：1.一种提高淀积膜厚均匀性的石英舟装置，其特征在于，包括：晶圆安装仓100，所述晶圆安装仓100上设置有晶圆支架110，所述晶圆支架110用于使多个晶圆200沿所述晶圆安装仓100的轴向a并列设置于所述晶圆安装仓100中；支脚300，所述支脚300设置在所述晶圆安装仓100的底部，在高度方向h上，所述晶圆200的圆心与所述支脚300的最低点之间的距离为L1，所述晶圆200的半径为R，且满足，28mm≤L1-R≤32mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江瞻芯电子科技有限公司 提高淀积膜厚均匀性的石英舟装置及其制造方法
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