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申请/专利权人：FEI公司
申请日：2023-12-29
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118280796A
主分类号：H01J37/22
分类号：H01J37/22;H01S3/08
优先权：["20221230 US 63/436214"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.02#公开
摘要：本文描述了用于显微术的光纤法布里‑珀罗腔激光相位板。在一个方面，一种用于带电粒子显微术的微法布里‑珀罗激光腔可包括：第一光纤组件和第二光纤组件，其中该第一光纤组件和该第二光纤组件中的每个光纤组件包括：包括单模光纤的入口区域；包括多模光纤或透明基底的间隔区域；包括梯度折射率光纤或梯度折射率透镜的会聚区域；以及反射镜区域，该反射镜区域包括多模光纤或透明基底，该入口区域、间隔区域、该会聚区域和该反射镜区域以光学形式彼此连通，并且其中该第一光纤组件的该反射镜区域的面面向该第二光纤组件的该反射镜区域的面，由此在其间限定间隙。
主权项：1.一种用于带电粒子显微术的微法布里-珀罗激光腔，所述微法布里-珀罗激光腔包括：第一光纤组件和第二光纤组件，其中所述第一光纤组件和所述第二光纤组件中的每个光纤组件包括：包括单模光纤的入口区域；包括多模光纤或透明基底的间隔区域；包括梯度折射率光纤或梯度折射率透镜的会聚区域；以及包括多模光纤或透明基底的反射镜区域，所述入口区域、间隔区域、所述会聚区域和所述反射镜区域以光学形式彼此连通，并且其中所述第一光纤组件的所述反射镜区域的面面向所述第二光纤组件的所述反射镜区域的面，由此在其间限定间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于带电粒子显微术的光纤法布里-珀罗腔激光相位板
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