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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
摘要：本发明涉及一种基于法布里‑珀罗谐振腔的高带宽‑量子效率积光电探测器，属于光电探测技术领域。该光电探测器包括抗反射膜、下反射镜，以及位于抗反射膜和下反射镜之间的谐振腔层。其中谐振腔层包括吸收层，以及可根据需要设置或不设置的上间隔层和下间隔层。若设置上间隔层和下间隔层，则谐振腔层包括上间隔层、下间隔层，以及位于上间隔层和下间隔层之间的吸收层；其中，上间隔层与抗反射膜接触，下间隔层与下反射镜接触。本发明通过抗反射膜和下反射镜形成法布里‑珀罗谐振腔，使特定波长的光在谐振腔层中反复振荡，极大提高了有效光程，使光电探测器获得高量子效率，突破带宽‑量子效率互相制约的问题。
主权项：1.一种基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器，其特征在于：其包括抗反射膜、下反射镜以及位于所述抗反射膜和下反射镜之间的谐振腔层；所述谐振腔层包括上间隔层、下间隔层以及位于所述上间隔层和下间隔层之间的吸收层；所述上间隔层与所述抗反射膜接触，所述下间隔层与所述下反射镜接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十四研究所 基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器
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