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一种提升法珀干涉位移测量系统线性度的方法及测量探头 

申请/专利权人:西安交通大学

申请日:2024-03-28

公开(公告)日:2024-07-02

公开(公告)号:CN118274719A

主分类号:G01B11/02

分类号:G01B11/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开

摘要:本发明提供一种提升法珀干涉位移测量系统线性度的方法及测量探头,将光纤二插入玻璃插芯并用粘接固定;使用金属连接套筒将APC接头与研磨后的玻璃插芯连接,金属连接套筒两侧粘接固定后的得到位移测量探头,通过位移测量探头增加法布里珀罗干涉腔的腔长,施加高频载波调制信号后,输入至LabVIEW中进行反正切算法解调,经解调后消除非线性位移测量误差,进行反正切算法解调和相位累加得到待测位移值,从而得到高线性度的位移测量结果,解决了PGC解调算法中相位调制深度过小的问题,降低了对激光器光频调谐能力的要求,改善了解调结果的线性度,满足小工作距离时高线性度位移测量的要求。

主权项:1.一种位移测量探头,其特征在于,包括,所述位移测量探头的设计方法为:采用APC接头13作为激光出射端,通过光纤连接设备将光纤二17插入确定长度后的玻璃插芯16并用胶粘粘接固定;粘固后的玻璃插芯16一侧端面磨平,另一侧端面研磨呈0~45°倾角;使用金属连接套筒15将APC接头13与研磨后的玻璃插芯16连接,金属连接套筒15两侧使用胶粘粘接固定后得到位移测量探头。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 一种提升法珀干涉位移测量系统线性度的方法及测量探头

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