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一种二维材料法珀型点式光纤传感器的制备方法 

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申请/专利权人:中国人民解放军国防科技大学

摘要:本发明公开了一种二维材料法珀型点式光纤传感器的制备方法,包括如下步骤:裁剪二维材料、固定二维材料、旋涂支撑材料、裁剪成小块、刻蚀二维材料生长基底、清洗支撑材料覆盖保护的二维材料、捞取支撑材料覆盖保护的二维材料、控温烘烤、使覆盖有二维材料的光纤陶瓷插芯端面微浸入支撑材料去除溶剂中、去除支撑材料、使用低表面张力溶剂置换去除溶、分离吹干后取下光纤陶瓷插芯、装配单模光纤和光纤陶瓷插芯。本发明应用于光纤传感领域,可以减少器件制备过程中二维材料的破损率,显著提高二维材料法珀型点式光纤传感器制备成功率,可推广至二维材料法珀型点式光纤传感器规模化制备。

主权项:1.一种二维材料法珀型点式光纤传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,根据件制备的数量,裁剪合适尺寸单层或多层人工生长的二维材料;步骤2,将二维材料固定于支撑平台上,并将支撑平台固定于匀胶机上,准备旋涂;步骤3,在二维材料上均匀旋涂一层高分子支撑材料,并干燥;步骤4,取下支撑材料覆盖保护的二维材料并剪去边缘,根据器件制备的数量,裁剪成相等数量的小块;步骤5,将小块支撑材料覆盖保护的二维材料置于刻蚀液中,去除二维材料生长基底;步骤6,清洗支撑材料覆盖保护的二维材料,去除表面有机和金属污染物后,将支撑材料覆盖保护的二维材料保存于去离子水中;步骤7,用光纤陶瓷插芯捞取支撑材料覆盖保护的二维材料,使二维材料覆盖在光纤陶瓷插芯端面圆孔上方;步骤8,对光纤陶瓷插芯上支撑材料覆盖保护的二维材料进行控温烘烤;步骤9,将光纤陶瓷插芯固定于样品座,然后翻转,使覆盖有二维材料的光纤陶瓷插芯端面微浸入支撑材料去除溶剂中;步骤10,保持浸入液面深度不变,不断补充去除溶剂,直至支撑材料全部去除;步骤11,保持浸入液面深度不变,使用低表面张力溶剂置换去除溶剂;步骤12,使光纤陶瓷插芯端面与溶液分离,取下样品座,氮气吹干后取下光纤陶瓷插芯;步骤13,装配单模光纤和光纤陶瓷插芯。

全文数据:

权利要求:

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