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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日：2022-12-29
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118276397A
主分类号：G03F1/70
分类号：G03F1/70
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开
摘要：一种掩膜版图的拆分方法，包括：提供鳍部版图，鳍部版图包括若干鳍部图形组；基于鳍部版图获取金属层版图，金属层版图包括若干金属层图形；基于金属层版图获取初始金属切断层版图，初始金属切断层版图包括若干金属切断层图形组，金属切断层图形组包括若干金属切断层图形，当初始金属切断层版图和金属层版图层叠时，金属切断层图形组与金属层图形具有重叠区域；将鳍部版图和金属层版图作为参考版图对初始金属切断层版图拆分，使得初始金属切断层版图形成若干金属切断层版。鳍部版图和金属层版图均与初始金属切断层版图存在稳定的空间位置关系，因此基于鳍部版图和金属层版图对初始金属切断层版图进行拆分，能够有效提升版图的拆分效率和灵活性。
主权项：1.一种掩膜版图的拆分方法，其特征在于，包括：提供鳍部版图，所述鳍部版图包括若干沿第一方向平行排布的鳍部图形组，所述鳍部图形组包括沿所述第一方向平行排布的第一鳍部图形和第二鳍部图形；基于所述鳍部版图获取金属层版图，所述金属层版图包括若干沿第二方向平行排布的金属层图形，所述第一方向与所述第二方向垂直；基于所述金属层版图获取初始金属切断层版图，所述初始金属切断层版图包括若干沿第一方向平行排布的金属切断层图形组，每组所述金属切断层图形组包括若干沿所述第二方向排布的金属切断层图形，当所述初始金属切断层版图和所述金属层版图层叠时，所述金属切断层图形组与所述金属层图形之间具有重叠区域，当所述初始金属切断层版图和所述鳍部版图层叠时，所述金属切断层图形组位于对应所述鳍部图形组中的所述第一鳍部图形和所述第二鳍部图形之间；将所述鳍部版图和所述金属层版图作为参考版图对所述初始金属切断层版图拆分处理，使得所述初始金属切断层版图形成若干金属切断层版图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 掩膜版图的拆分方法
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