龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：美可隆半导体(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种图形化直显布光的光刻掩膜版，包括掩膜版基板，所述掩膜版基板上设置有图形显示层和显示控制层，所述图形显示层包括阵列设置的MicroUVLED芯片，所述MicroUVLED芯片组成显示屏；所述显示控制层包括与各个MicroUVLED芯片连接的控制电路，所述控制电路用于控制每一个MicroUVLED芯片的通断，以使得图形显示层形成不同的掩膜图案光路。该光刻掩膜版设置MicroUVLED芯片阵列，通过MicroUVLED芯片阵列直接显示掩膜图形，该掩膜版本身就是一个UV发光光源，不存在光学衍射效应，避免了传统掩膜版在线宽变小的情况下引起的光学衍射现象。
主权项：1.一种图形化直显布光的光刻掩膜版，包括掩膜版基板，其特征在于，所述掩膜版基板上设置有图形显示层和显示控制层，所述图形显示层包括阵列设置的MicroUVLED芯片，所述MicroUVLED芯片组成显示屏；所述显示控制层包括与各个MicroUVLED芯片连接的控制电路，所述控制电路用于控制每一个MicroUVLED芯片的通断，以使得图形显示层形成不同的掩膜图案光路，所述显示控制层包括在掩膜版基板的第二表面设置的第一绝缘层，所述掩膜版基板的第一表面设置有UV光限制层，所述第一绝缘层的上表面设置有负电极电路层，所述负电极电路层的上表面设置有第二绝缘层，所述第二绝缘层的上表面设置有正电极电路层，所述第二绝缘层上开设有负电极焊接窗口，所述MicroUVLED芯片的负电极通过负电极焊接窗口与负电极电路层连接，所述MicroUVLED芯片的正电极与正电极电路层连接；所述MicroUVLED芯片的上方设置有保护层，所述保护层的材质为石英或蓝宝石晶体，所述保护层的表面还设置有防眩光光子晶体纳米结构层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美可隆半导体(苏州)有限公司 图形化直显布光的光刻掩膜版、制备方法及成像装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号