龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221240536U
主分类号：H05H1/46
分类号：H05H1/46;H03H7/38;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/32
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本申请涉及一种射频网络匹配器及射频离子源系统，所述射频网络匹配器包括：连接在射频功率源与离子源负载之间的射频传输线，连接在射频传输线上的射频耦合器，串联在射频传输线上的第一电容，并联在射频传输线上的第二电容，以及主控板；其中，射频传输线的射频输入端连接射频功率源，射频传输线的射频输出端连接离子源负载，所述第一电容和第二电容为可调电容；射频耦合器连接所述主控板，主控板连接至第一电容和第二电容；射频耦合器从射频传输线检测出射频信号发送至主控板，控板输出控制信息调整所述第一电容和第二电容，使得射频网络匹配器达到阻抗匹配状态。该技术方案，提升了射频功率源的匹配效率，并增强了射频离子源的性能。
主权项：1.一种射频网络匹配器01，应用于射频离子源系统100，其特征在于，包括：连接在射频功率源02与离子源负载03之间的射频传输线04，连接在所述射频传输线04上的射频耦合器11，串联在射频传输线04上的第一电容12，并联在射频传输线04上的第二电容13，以及主控板14；其中，射频传输线04的射频输入端连接射频功率源02，射频传输线04的射频输出端连接离子源负载03，所述第一电容12和第二电容13为可调电容；所述射频耦合器11连接所述主控板14，所述主控板14连接至所述第一电容12和第二电容13；所述射频耦合器11从射频传输线04检测出射频信号发送至主控板14，所述主控板14输出控制信息调整所述第一电容12和第二电容13，使得射频网络匹配器01达到阻抗匹配状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 射频网络匹配器及射频离子源系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号