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申请/专利权人：江苏第三代半导体研究院有限公司
申请日：2023-11-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221235656U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型涉及气相沉积技术领域，具体公开了一种MO源管路系统，该MO源管路系统包括进气管路、三通管、出气管路以及辅助管路，进气管路的出口与MO源瓶的入口连通，至少用于将载气通入MO源瓶；三通管包括相互连通的第一管路、第二管路和第三管路，第一管路与MO源瓶的出口连通，第一管路上设置有第一阀体，第一阀体用于控制第一管路的通断；出气管路的入口与第三管路连通，出气管路的出口与反应室连通；辅助管路的出口与第二管路连通，用于对出气管路进行吹扫；第二管路上设有第二阀体，第二阀体用于控制第二管路的通断。上述设置可以对MO源瓶以外的整个出气管路进行吹扫，解决了出气管路出现堵塞的问题。
主权项：1.一种MO源管路系统，其特征在于，包括：进气管路100，所述进气管路100的出口与MO源瓶1000的入口连通，至少用于将载气通入所述MO源瓶1000；三通管200，所述三通管200包括相互连通的第一管路210、第二管路220和第三管路230，所述第一管路210与所述MO源瓶1000的出口连通，所述第一管路210上设置有第一阀体510，所述第一阀体510用于控制所述第一管路210的通断；出气管路300，所述出气管路300的入口与所述第三管路230连通，所述出气管路300的出口与反应室连通；辅助管路400，所述辅助管路400的出口与所述第二管路220连通，用于对所述出气管路300进行吹扫；所述第二管路220上设有第二阀体520，所述第二阀体520用于控制所述第二管路220的通断。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏第三代半导体研究院有限公司 MO源管路系统
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